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FMS80V系列真空步進電機高精度通用平移臺：在FMS80基礎上，我們設計了FMS80V系列真空專?位移臺。FMS80V廣泛適用于真空環(huán)境的應?中，在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7 ~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運行。
FMS120V系列真空步進電機高精度通用平移臺：在FMS120系列基礎上，我們設計了FMS120V系列真空專用位移臺。FMS120V廣泛適用于真空環(huán)境的應用中，在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運行。
FMS80VR真空步進電機高精度整體臺面平移臺：在FMS80R系列基礎上，我們設計了FMS80VR系列真空專用位移臺。FMS80VR廣泛適用于真空環(huán)境的應用中，在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運?。
FMSZ真空步進電機升降臺：我們開發(fā)的FMSZ系列真空步進電機升降臺。經(jīng)過特殊設計，方便與我們的其余產(chǎn)品搭建成多維位移臺。承載高，并可定制其它行程。搭配FMC01系列控制器。
FMSXXY170Z-200-200直線電機龍門雙驅(qū)平臺：我們研發(fā)的?理石龍門雙驅(qū)位移臺，雙向重復定位精度可達亞微米級。行程、精度、承載均可定制。采用雙驅(qū)結(jié)構(gòu)，同步性更好、承載更高。Y軸可掛載Z軸。結(jié)合CCD等器件，可做成套設備交付客戶使用。
FMSXY系列步進電機二維掃描臺：我們研發(fā)的?體化步進二維位移臺?？刂破骺蓛?nèi)置。雙向重復定位精度和微步能力*。結(jié)構(gòu)小巧，易于配套集成?？膳錁藴蔉MC01系列控制器應用，也提供SDK給客戶做?次開發(fā)。
FMSXY系列直線電機中空二維掃描平臺：我們開發(fā)的此款?維掃描位移臺，采用了直驅(qū)技術，速度快，精度高，承載?。非常適合于需要?維運動的設備和應?。配合菲克科技的高性能控制器能實現(xiàn)：位置記憶，位置觸發(fā)，任意平?圖形導?。適合與顯微鏡?起使?，同時提供配套附件，可用于市?上?多數(shù)顯微鏡。
FMSXY系列直線電機二維掃描臺：我們開發(fā)的整體?維位移臺，應用于?些特殊應?場合。亞微?級精度，?體化設計，高可靠性，可用于各種需要?維運動的場合。配合FMC04控制器使?，具有微動，高速，低速等特性。
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